(주)나노엑스(대표 박두진)는 10 마이크로미터(1㎛=100만분의 1m) 피치(Pitch, 핀 사이의 간격) 이하의 기술을 구현한 '마이크로LED 검사용 프로브카드(이하 프로브카드)' 양산에 세계 최초로 성공했다고 29일 밝혔다.

초고해상도의 명암비 및 색표현이 뛰어난 마이크로LED는 차세대 디스플레이와 웨어러블 디바이스의 핵심 부품으로 꼽히지만, 장비 특성상 머리카락 두께의 ⅓ 수준인 30 마이크로미터 이하 크기로 필수 검사인 EL(Electro Luminescence)을 진행해야 하는 어려움이 따라 상용화가 더딘 상황이다.

나노엑스는 자사가 보유한 'NEMS(3D 나노전자기계시스템)'를 기반으로 ▲완전 수직형(Full Vertical) 나노핀, 'nPin' ▲각각의 핀 별로 개별적 탄성 구조를 갖는 기술인 'iEPt™'를 개발하고 두 기술을 접목시켜 현존하는 가장 작은 사이즈의 마이크로 LED 검사용 프로브카드 양산 시스템 구축에 세계 최초로 성공했다.

핀 직경이 3 마이크로미터 이하, 핀 간격이 10 마이크로미터 미만으로 1028개 채널이 동시 접촉이 가능한 나노엑스의 마이크로LED 검사용 프로브카드는 핀 간격이 40 마이크로미터 이상인 기존 MEMS 기술로는 검사 자체가 불가능했던 기술적 한계를 극복했다.

이를 기반으로 나노엑스는 이달, 국내 대기업과 마이크로LED 검사용 장비 및 프로브카드 성능 평가를 진행했으며 최근에는 글로벌 마이크로LED 기업에 납품 계약을 체결했다. 또한 현재 다수의 국내외 글로벌 기업들과도 계약 진행 및 논의 중이다.

나노엑스의 프로브카드는 마이크로LED 외에도 고대역폭 메모리 HBM(High Bandwidth Memory)와 같이 초미세 핀 간격을 요구하는 다양한 분야에서 초정밀 소자 검사 장비로 활용이 가능하다. 또한 기존 프로브카드와 달리 완전 수직형 초미세 핀으로 정확한 검사가 가능하고, 높은 탄성력으로 접촉력이 우수해 검사 과정에서 손상률이 낮은 만큼 수명이 길어져 단가 경쟁력도 높다.

박두진 나노엑스 대표는 “삼성, 애플 등 글로벌 IT기업들이 차세대 디스플레이로 마이크로LED를 채택했으나 검사 및 리페어 기술의 부재로 양산 및 상용화가 더딘 실정”이라며 “자사의 독자적인 NEMS 기술과 노하우로 세계 최초 및 유일하게 마이크로LED 특성에 맞는 검사 프로브카드 양산에 성공, 디스플레이 시장을 활성화 시킬 것으로 기대한다"고 전했다.

한편 나노엑스는 반도체 공정기술인 초소형 정밀 기계제작 기술을 기반으로 초미세 나노핀을 개발·생산하는 기업으로 2017년 설립됐다. 핵심 기술인 NEMS는 나노 크기의 전자기계 소자기술로 초미세전자기기, 초미세입자, 바이오, 의료 등 여러 산업에 적용 가능하다. 기술 관련 국내외 특허 출원과 등록 건이 각각 40여건과 10여건에 달하며, 2021년에는 산업통상자원부 장관상을 수상한 바 있다.